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AWM2000系列為無(wú)源器件，包含兩個(gè)惠斯頓電橋：一個(gè)為閉環(huán)的發(fā)熱 控制電路，一個(gè)為雙傳感電路，圖 1，2 為用戶需外加電路，圖 3 為推 薦的輸出信號(hào)放大電路。
圖1電路為發(fā)熱控制電路，通過保持恒定的發(fā)熱溫度與變化的外界溫度 之差減小由于外部溫度變化引起的誤差，外界溫度由芯片上相似的負(fù)溫 度系數(shù)電阻測(cè)得，這種模式還能減少由于氣體濃度及成分變化產(chǎn)生的影響，這種變化可以改變熱傳導(dǎo)及傳感元件的工作特性。
圖 2 為傳感橋供電電路,傳統(tǒng)的惠斯通電路，傳感器內(nèi)含的傳感元件組成了橋路的兩個(gè)動(dòng)態(tài)臂,輸出電壓隨電源變化，當(dāng)氣流方向變化時(shí)，輸出的電壓極性也發(fā)生變化。
圖3是一個(gè)實(shí)用的傳感器接口放大電路，提高增益及調(diào)節(jié)輸出電壓的偏置
特點(diǎn)：
* 雙向氣流傳感
* 實(shí)際氣體質(zhì)量流量傳感
* 流速 0~30sccm 到 0~1000sccm
* 需另加發(fā)熱器控制及傳感橋路供電電路
